• upay钱包官网

      机台净化设备
      对于晶圆所处非真空得环境，利用晶圆厂得动力系统(N2/XCDA)，使用正压以及闭环控制系统进行净化。 upay钱包官网TLP1.0在国内首次实现了极短时间内使FOUP湿度下降到RH1%以下。

      可选配置：标配位置传感器、温湿度传感器、压力计、流量计，可选配MFC
      功能亮点：

      亲和人机界面

      稳定系统集成

      独立式控制板卡

      高速净化

      兼容多种EAP通信

      软件描述
      TLP Software
      TLP Software
      具有智能、高效、稳定、专业等特点的上位软件，配合自定义的吹气策略和完善的状态监控，有助于保持晶圆盒内的清洁和干湿度稳定，以保证晶圆的特性和质量。

      功能亮点：
      ▪ 支持标准的三段式吹气控制。
      ▪ 搭配FabScope 能显示当前所有设备运行状态信息。
      重要参数


      技术指标参数

      洁净等级

      ≤Class100

      过滤精度

      0.003um

      电源

      220V，50Hz，2A


      返回上一页